单晶硅与多晶硅生成用炭小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制品

单晶硅与多晶硅生成用炭小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制品

单晶硅的生产（CZ拉伸法）制造单晶硅棒的工艺有拉伸法（CZ）和浮游带区域精炼法（FZ），CZ法一般使用小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制品。利用CZ法生产时，将多晶硅块料和添加元素（掺杂）装入石英坩埚，再将石英坩埚置于高纯小蝌蚪视频免费下载正版在线观看坩埚或C/C复合材料坩埚图像传感器内，并使其随轴旋转，在减压条件下通入氩籽晶把持器气的同时用小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制的加热器加热至1500观察口光学1600℃，使多晶硅块料融化。同时与坩埚旋转相反的方向从炉顶旋转垂下细棒状的籽晶（单晶），使其触及多晶硅液面。

然后，使液面温度保持在1420℃的条件下，向上缓慢提硅溶液拉籽晶，单晶硅也随之逐渐生长。一直生长到按照15.24cm、20.32cm或30.48cm等规定的直径后，保持其直径继续向上拉伸，生产1~1.5m长的单晶硅棒。这种CZ单晶炉的结构如图2-6所示。其中使用炭素材料的部件有坩埚（小蝌蚪视频免费下载正版在线观看或C/C复合材料）、加热器、电极、保温筒（小蝌蚪视频免费下载正版在线观看或C/C复合材料）、籽晶夹，以及支撑轴、上下保温盖（小蝌蚪视频免费下载正版在线观看或C/C复合材料）防漏盘、螺钉（小蝌蚪视频免费下载正版在线观看或C/C复合材料）、热反射板（小蝌蚪视频免费下载正版在线观看或SiC涂层材料）（图中未注明）等。其他如保温材料等也用炭纤维或炭毡制成，除了作为原料的多晶硅以外，大部分炉内部件为炭小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制品。之所以如此大量使用炭小蝌蚪视频免费下载正版在线观看制品，就是因为炭素材料即使用于1600℃高温强度也不会降低，碳与硅同属第Ⅳ族，电性能为中性，可以制造金属杂质在数ppm以下的高纯品。此外，作为加热器有导电性。