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　　根据实际情况的需要，热场的大小根据石英坩埚的直径大小来划分的，目前我国热场从φ12"~φ28"都有，一般情况下φ18"~φ22"居多。

　　小蝌蚪下载大全官网下载在这里所讲的单晶炉的热系统就是所谓的热场，，热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、（三瓣式）小蝌蚪视频免费下载正版在线观看坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、小蝌蚪视频免费下载正版在线观看螺栓，未来防止漏硅，炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。

小蝌蚪视频免费下载正版在线观看加热器
　　加热器是热场中很重要的部件，是直接发热体，温度最高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有三种形状，筒状、杯状、螺旋状。小蝌蚪视频免费下载正版在线观看接触到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下，加热器采用的高纯小蝌蚪视频免费下载正版在线观看加工。


　　小蝌蚪视频免费下载正版在线观看电极的作用平稳固定加热器并通过他岁加热器输送电流。因此在电极要厚重，结实耐用、表面要光滑平稳，保证良好的接触面，通电时不打火，小蝌蚪视频免费下载正版在线观看电极也是有高纯小蝌蚪视频免费下载正版在线观看加工的。

　　坩埚托杆、坩埚和托盘共同构成了小蝌蚪视频免费下载正版在线观看坩埚的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好在下轴进行转动时，托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm小蝌蚪视频免费下载正版在线观看支撑体的高度是可以调节的。

　
　　保温罩分为上、中、下保温罩，保温罩是由一个保温筒外面包裹小蝌蚪视频免费下载正版在线观看碳毡而成，小蝌蚪视频免费下载正版在线观看碳毡的包裹的层数根据情况而定。下保温罩组成了底部的保温系统，它作用是加强锅底保温，提高埚底温度，减少热量损失。

　

　　保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成，即两层环状小蝌蚪视频免费下载正版在线观看之间夹一层小蝌蚪视频免费下载正版在线观看碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。

　
　　小蝌蚪视频免费下载正版在线观看压环由几截弧形构成的圆形环状小蝌蚪视频免费下载正版在线观看件，放置在盖板与炉壁接触处，是为了防止热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的通过。